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半自动清洗设备

1.针对半自动清洗设备升级阀体，流量精确控制；

2.半自动清洗设备智能监控，实现清洗配方适时调整切换；

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产品详情

清洗作为半导体工艺中重要的一环，如清洗不良，将导致后道工艺出现品质不良。而半导体行业存在部分老旧清洗设备，设备陈旧，设备智能化程度低，客户继续对老旧设备进行升级改造，提高设备自动化，智能化。为了因应客户需求，开发半自动清洗机需求。

1.针对半自动清洗设备升级阀体，流量精确控制；
2.半自动清洗设备智能监控，实现清洗配方适时调整切换；

可广泛应用于半导体半自动化清洗设备升级改造。

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