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众班科技成功开发新一代Reticle Stocker
众班科技继续深耕技术,投入开发新一代Reticle Stocker设备研发并取得了成功。
2023-01-07    

众班科技成功开发新一代Reticle Stocker


众班科技继续深耕技术,投入开发新一代Reticle Stocker设备研发并取得了成功。



设备主要用于配合光刻机使用,用于对光罩(Reticle)进行清洁检测并进行*清洁存储。设备由众班科技自主研发,实现多个创新运用,填补国内该种设备空白。


设备创新采用真空技术和超声波技术,实现*清洁;设备还采用激光束扫描技术,实现光罩微米级检测,提高光罩异物识别,进而提高了光刻的良率。


目前该设备已经完成相关认证和测试,将在今年3月搬入某国际半导体设备公司进行架设。


众班科技聚焦半导体,持续加大技术力量投入,为中国半导体装备贡献微薄力量。

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